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计量传感器

产品图片	产品名称/型号	产品简单介绍
	计量传感器 Z5PM	轻松实现蚀刻和清洁的端点的监测。
	计量传感器 Z5FP	追求封口形状计测时最合适的计测性能。实现稳定计测的欧姆龙独特的多灵敏度调整功能。
	计量传感器 Z5CF	彩色感光剂所特有的计测性能。
	计量传感器 Z5FM-200	在线•全数检查/计测的提案。实现在线计测的独特的光学系数。采用LED光源，减轻维修负担。根据设置条件可选择光纤头。配置“膜厚计测”、“膜厚+光学常数（屈折率，吸收系数）同时计测”2种计测方法。通过易懂的GUI，使操作更简单。在线计测中必不可少的触发模式的充实。与装置•工程、CIM想配合的接口。